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TFE等離子化學(xué)氣相沉積單溫區(qū)PE-CVD管式爐

簡(jiǎn)要描述：廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)科冪TFE等離子化學(xué)氣相沉積單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)TFE-1200-50-I-220。高性能射頻電源，等離子體更穩(wěn)定。滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，并可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能。TFE等離子化學(xué)氣相沉積單溫區(qū)PE-CVD管式爐

產(chǎn)品型號(hào)：TFE-1200-50-I-220
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2025-08-07
訪問量：2150

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詳細(xì)介紹

品牌	科冪儀器	升溫速度（達(dá)到最高溫）	≤10℃/min/min
內(nèi)部尺寸	Ф30/50/60/1200mmmm	加熱方式	K型熱電偶,集成式觸摸屏控制
最大功率	3000kW	控溫精度	±1℃℃
最高溫度	1100℃	價(jià)格區(qū)間	面議
儀器種類	管式爐	產(chǎn)地類別	國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子/電池

廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)科冪TFE等離子化學(xué)氣相沉積單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)TFE-1200-50-I-220。高性能射頻電源，等離子體更穩(wěn)定。滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，并可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能。TFE等離子化學(xué)氣相沉積單溫區(qū)PE-CVD管式爐

等離子化學(xué)氣相沉積單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)特點(diǎn)：

高性能射頻電源，等離子體更穩(wěn)定；

滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，并可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能；

與傳統(tǒng)CVD相比較，生長(zhǎng)溫度更低

等離子化學(xué)氣相沉積PE-CVD系統(tǒng).jpg

等離子化學(xué)氣相沉積單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)參數(shù)：

型號(hào)：	TFE-1200-50-I-220
爐管尺寸：	Ф30/50/60/1200mm
腔膛尺寸：	Ф80*220mm
最高溫度：	1150℃(短期)
工作溫度：	1100℃
升溫速率：	≤10℃/min
控溫精度：	±1℃
加熱區(qū)長(zhǎng)度：	220mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度：	80mm
加熱原件：	優(yōu)質(zhì)電阻絲
額定功率：	3kW
供氣系統(tǒng)：	三路高精度MFC量程0~500sccm（可定制）
溫控系統(tǒng)：	K型熱電偶，集成式觸摸屏控制
射頻電源：	射頻功率：5~500W；射頻頻：13.56MHz；匹配方式：自動(dòng)匹配
真空系統(tǒng)：	雙極旋片真空泵（可定制擴(kuò)散泵分子泵等）
外形尺寸：	1250510810mm

等離子化學(xué)氣相沉積單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)TFE-1200-50-I-220信息由廣州金程科學(xué)儀器有限公司為您提供。TFE等離子化學(xué)氣相沉積單溫區(qū)PE-CVD管式爐

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