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雅馬拓YAMATO高頻等離子清洗機表面清潔機

簡要描述:廣州金程科學儀器公司供應的雅馬拓YAMATO等離子清洗機V1000/V1000X/V1000XS,13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機,搭載RIE·DP 雙模式。硅晶圓的灰化及蝕刻、基板表面污垢處理、IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理、半導體相關部品的電子材料的干式清洗、自然氧化膜·有機物去除、界面活性處理、表面污染物去除。雅馬拓YAMATO高頻等離子清洗機表面清潔機

  • 產品型號:V1000/V1000X/V1000XS
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-08-07
  • 訪  問  量:1578
詳細介紹
品牌YAMATO/日本雅馬拓產地類別國產
應用領域電子/電池,電氣

廣州金程科學儀器公司供應的雅馬拓YAMATO等離子清洗機V1000/V1000X/V1000XS,13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機,搭載RIE·DP 雙模式。硅晶圓的灰化及蝕刻、基板表面污垢處理、IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理、半導體相關部品的電子材料的干式清洗、自然氧化膜·有機物去除、界面活性處理、表面污染物去除。

雅馬拓YAMATO高頻等離子清洗機表面清潔機


儀器特點:

硅晶圓的灰化及蝕刻。

基板表面污垢處理。

IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。

半導體相關部品的電子材料的干式清洗。

自然氧化膜·有機物去除。

界面活性處理。

表面污染物去除。

型號

V1000

V1000X

V1000XS

等離子模式

DP/RIE

高頻電源

13.56MHz

輸出功率

Max1000W

Max1000&1500W

有效電極尺寸

W280xD280mm

W300xD300mm

W400xD375mm

電極

平行平板

2段電極(獨立)

平板(多目的)

反應氣體

聚合控制器2系統(填充氣路另行安裝)

真空泵(標配)

1000L/min

1500L/min

1000&1500L/min

安全裝置

門檢測開關、連鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等

雅馬拓YAMATO等離子清洗機V1000/V1000X/V1000XS信息由廣州金程科學儀器有限公司為您提供。雅馬拓YAMATO高頻等離子清洗機表面清潔機




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